- EFEM ön uç arayüzü Standart wafer devri için fabrikanın malzeme taşıma sistemi ile proses ekipmanının dahili transfer ortamını birbirine bağlar.
- SEMI uyumlu tasarım Ekipman iletişimi ve entegrasyonu için SEMI standartlarıyla uyumlu bir arayüz sistemi olarak sunulur.
- Çift kollu transfer robotu Harici eksenli çift kollu bir robot, ekipman ön ucunda yüksek verimli wafer hareketi sağlar.
- Kompakt yer kaplama alanı Küçük yer kaplama mimarisi, alanı kısıtlı fabrika ekipman ön uçlarına uygundur.
- Esnek taşıma koordinasyonu Waferleri manuel olarak veya üstten sistemler gibi fabrika taşımasıyla koordineli biçimde hareket ettirir.
- Kontaminasyon kontrolü Operatörün kritik altlıklarla temasını azaltırken tekrarlanabilir wafer transferlerini destekler.
Açıklama
SIASUN TSS-3000, yarı iletken üretimi için bir EFEM (Equipment Front End Module) olup, bir fabrikanın malzeme taşıma sistemi ile bir proses ekipmanının dahili transfer ortamı arasında kontrollü bir arayüz görevi görür. Wafer yükleme, hizalama ve devir işlemlerini koordine ederken kontaminasyon kontrolünün ve standart, SEMI uyumlu ekipman iletişiminin sürdürülmesine yardımcı olur.
Küçük bir yer kaplama alanıyla tasarlanan TSS-3000, waferleri manuel olarak veya üstten sistemler gibi fabrika taşıma sistemleriyle koordineli biçimde hareket ettirmek için harici eksenli çift kollu bir transfer robotu kullanır ve ekipman ön ucunda yüksek verimli, tekrarlanabilir wafer taşımayı destekler. Standart arayüzlerin ve operatörün kritik altlıklarla temasının azaltılmasının gerektiği temiz oda wafer fabrikası ortamları için uygundur. Fiyat ve stok durumu için bizimle iletişime geçin.
Özellikler
Teknik Özellikler
| Marka | SIASUN |
|---|---|
| Model | TSS-3000 |
| Robot tipi | EFEM (Equipment Front End Module) / ön uç wafer transfer sistemi |
| Arayüz | SEMI uyumlu ön uç arayüzü |
| Transfer robotu | Harici eksenli çift kollu robot |
| Yer kaplama alanı | Kompakt / küçük yer kaplama alanı |
| Çalışma | Manuel veya fabrika taşımasıyla koordineli (ör. üstten sistemler) |
| Tipik uygulamalar | Wafer fabrikası ön uç taşıma, wafer yükleme ve hizalama/devir |
Sektörler
Sıkça Sorulan Sorular
SIASUN Truss Robot için güncel fiyat, stok durumu ve size özel teklif almak üzere bizimle iletişime geçin.
Tekrarlanabilir malzeme taşıma için kartezyen bir portal robottur; en yaygın kullanımı fabrika sahasında CNC tezgâh yükleme-boşaltma, operasyonlar arası transferler ve proses otomasyon hatlarıdır.
Evet. Geniş çalışma alanı ve ölçeklenebilir ray uzunluğu sayesinde tek bir portal robot birden fazla CNC tezgâhına veya iş istasyonuna hizmet verebilir ve bağımsız taşıma cihazlarının sayısını azaltır.
Uç eleman arayüzü pnömatik veya servo tutucuları, vakum vantuzlarını, manyetik tutucuları ve takım değiştiricileri kabul eder; böylece parça taşıma, düz veya demir içeren yüzeyler ve çok operasyonlu hücreler için yapılandırılabilir.
Evet. Robotix Market, faturalandırma ve satış sonrası destekle dünya genelindeki işletmelere tedarik sağlar. Teklif için bizimle iletişime geçin.
Son Görüntülenenler
Henüz hiçbir ürünü görüntülemediniz.
