- Transferência de substrato
- Câmaras de carga
- Câmaras de vácuo
- Rendimento repetível
- Manuseamento preciso
- Intervenção reduzida
Descrição
O robô de vácuo SIASUN SM15 transfere substratos (tais como wafers) ou peças sensíveis entre câmaras de carga, câmaras de vácuo e estações internas em equipamentos de processo integrados.
Permite um rendimento repetível, um manuseamento preciso e uma intervenção humana reduzida no fabrico de semicondutores.
O SM15 destina-se a aplicações nos setores dos semicondutores, da inspeção e do manuseamento industrial a vácuo.
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Características
Especificações
| Modelo | SM15 |
|---|---|
| Tipo de robô | Robô aspirador |
| Utilização prevista | Equipamentos para processos de semicondutores |
| Marca | SIASUN |
Setores
Perguntas frequentes
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O robô a vácuo SIASUN SM15 transfere substratos entre câmaras de carga e estações de processamento. Manuseamento preciso para otimizar a produtividade na fabricação de semicondutores.
Robô de aspiração SIASUN SM15 é perfeitamente adequado a aplicações nos setores Industrial.
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