- Câmaras de vácuo
- Sistemas de câmara de equilíbrio
- Ferramentas de cluster
- Wafers/painéis/suportes
- Orientado para o vácuo
- Isolamento do ar
Descrição
O manipulador a vácuo SIASUN PHOENIX-S25 está integrado em câmaras de vácuo, sistemas de carga e ferramentas de cluster. Transporta peças ou substratos (wafers, painéis, suportes, componentes de precisão) entre módulos de processo.
Posicionado como uma plataforma de manipulação orientada para o vácuo, sem expor os materiais ao ar ambiente.
O Phoenix-S25 destina-se a aplicações de manuseamento a vácuo na indústria semicondutora e industrial.
Contacte-nos para obter informações sobre preços e disponibilidade.
Características
Especificações
Setores
Manipulador a vácuo Phoenix da SIASUN
- Preço normal
- Preço sob consulta
Em stock
Braço robótico
Vistos recentemente
Ainda não visualizou nenhum produto.
