- Estrutura de motor de acionamento direto O acoplamento direto sem engrenagens nem correias reduz a folga e a flexibilidade mecânica para um movimento mais suave e com maior capacidade de resposta em funcionamento sob vácuo.
- Menor geração de partículas Menos interfaces de transmissão mecânica significa menos detritos de desgaste, uma vantagem essencial em ambientes limpos e de vácuo onde os contaminantes são amplificados.
- Novo módulo de E/S Um módulo de entrada/saída atualizado melhora a integração do controlo para as funções de automação dentro dos sistemas de vácuo e load-lock.
- Suporte para interrupções de hardware As entradas acionadas por interrupção permitem um tratamento de eventos de baixa latência para intertravamentos, eventos de alinhamento e coordenação com sinais de pressão e de estado das portas.
- Sensibilidade à manutenção reduzida A eliminação de correias e de trens de engrenagens remove componentes de transmissão consumíveis que, de outro modo, exigiriam manutenção periódica.
- Arquitetura orientada ao vácuo A plataforma foi concebida especificamente para a transferência sob vácuo dentro de câmaras, sistemas load-lock e cluster tools, e não para a utilização em chão de fábrica aberto.
Descrição
A série SIASUN PHOENIX-S25 é uma plataforma de manipulação de vácuo concebida para a transferência limpa dentro de câmaras de vácuo, sistemas load-lock e cluster tools. Ao contrário dos robôs convencionais de chão de fábrica, os manipuladores de vácuo têm de gerir cuidadosamente a contaminação, a lubrificação e a vedação, e a PHOENIX-S25 responde a isso com uma estrutura de motor de acionamento direto que elimina engrenagens, correias e elementos de transmissão semelhantes da arquitetura interna. A redução destas interfaces mecânicas diminui a geração de partículas, reduz o número de peças de transmissão consumíveis e favorece um perfil de movimento mais limpo e com maior capacidade de resposta. A série introduz igualmente um novo módulo de E/S com suporte para interrupções de hardware para o tratamento de eventos de baixa latência.
Estas características tornam a PHOENIX-S25 bem adequada a processos sensíveis à contaminação, em que peças ou substratos se deslocam entre módulos sem exposição ao ar ambiente. A capacidade de interrupção por hardware permite que o sistema de controlo reaja rapidamente ao estado do sistema de vácuo, ao estado das portas do load-lock, aos eventos de alinhamento acionados por sensores e aos sinais de prontidão dos módulos, ajudando a coordenar um movimento determinístico dentro de uma região de transferência sob vácuo. Está mais estreitamente associada ao fabrico de semicondutores e ecrãs, onde wafers e painéis são manipulados dentro de cluster tools sob vácuo para minimizar a oxidação e a contaminação. A PHOENIX-S25 é fornecida com base em orçamento, sendo a configuração e a integração no processo confirmadas antes da encomenda.
Características
Especificações
| Marca | SIASUN |
|---|---|
| Modelo | PHOENIX-S25 Series |
| Tipo | Manipulador de vácuo |
| Estrutura de acionamento | Direct-drive (no gears or belts) |
| E/S de controlo | New I/O module with hardware interrupt support |
| Origem | China |
Setores
Perguntas frequentes
É uma plataforma de manipulação de vácuo SIASUN concebida para mover peças ou substratos entre módulos de processo dentro de câmaras de vácuo, sistemas load-lock e cluster tools sem os expor ao ar ambiente. A sua arquitetura de acionamento direto e as E/S atualizadas destinam-se a um funcionamento limpo e com capacidade de resposta.
A eliminação de engrenagens, correias e elementos de transmissão semelhantes reduz a geração de partículas provocada pelo desgaste mecânico, diminui o número de peças consumíveis e pode melhorar a resposta dinâmica ao reduzir a folga e a flexibilidade, tudo aspetos valorizados na manipulação sob vácuo e em ambiente limpo.
Está mais fortemente associada ao fabrico de semicondutores e ecrãs, onde wafers e painéis são transferidos entre módulos em cluster tools sob vácuo para reduzir o risco de oxidação e contaminação. Adequa-se a processos em que uma transferência limpa e controlada é um requisito fundamental.
A série PHOENIX-S25 é fornecida com base em orçamento, sujeita a disponibilidade. Submeta um pedido de orçamento através da Robotix Market e a nossa equipa confirmará preço, disponibilidade, configuração e requisitos de integração no processo para o seu projeto.
A série PHOENIX-S25 está coberta pela garantia do fabricante fornecida pela SIASUN. A Robotix Market envia para todo o mundo, com os detalhes de entrega confirmados no âmbito do seu orçamento.
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