- Wafers de 200 mm/300 mm
- 0,5 kg de carga útil
- Design compacto
- De alta velocidade
- Elevado nível de limpeza
- Interface FOUP/cassete
Descrição
O manipulador atmosférico SIASUN Blade-DD250 suporta formatos de wafer de Φ200 mm e Φ300 mm com uma carga útil ≤0,5 kg. Posicionado como uma solução de transferência compacta, de alta velocidade e elevada pureza.
Utilizado nas interfaces entre ferramentas de processo, portas de carga e cassetes/FOUPs na automação de fábricas em salas limpas.
O Blade-DD250 destina-se a aplicações de manuseamento atmosférico na indústria semicondutora e industrial.
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Características
Especificações
| Modelo | Blade-DD250 |
|---|---|
| Tamanho da pastilha | Φ200 mm, Φ300 mm |
| Carga útil | ≤0,5 kg |
| Tipo de robô | Manipulador atmosférico |
| Marca | SIASUN |
Setores
Perguntas frequentes
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O SIASUN Blade-DD250 processa wafers de 200 mm e 300 mm com uma carga útil ≤0,5 kg. Transferência atmosférica compacta e de alta velocidade para automação industrial em salas limpas.
Lâmina do manipulador atmosférico SIASUN DD250 é perfeitamente adequado a aplicações nos setores Industrial.
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Lâmina do manipulador atmosférico SIASUN DD250
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