La serie SIASUN PHOENIX-S25 es una plataforma de manipulación de vacío diseñada para la transferencia limpia dentro de cámaras de vacío, sistemas de precámara de carga (load-lock) y equipos de agrupación (cluster tools). A diferencia de los robots convencionales de planta, los manipuladores de vacío deben gestionar cuidadosamente la contaminación, la lubricación y el sellado, y la PHOENIX-S25 lo aborda con una estructura de motor de accionamiento directo que elimina engranajes, correas y elementos de transmisión similares de la arquitectura interna. La reducción de estas interfaces mecánicas disminuye la generación de partículas, reduce el número de piezas de transmisión consumibles y favorece un perfil de movimiento más limpio y con mayor capacidad de respuesta. La serie también incorpora un nuevo módulo de E/S con compatibilidad con interrupciones por hardware para la gestión de eventos de baja latencia.

Estas características hacen que la PHOENIX-S25 sea muy adecuada para procesos sensibles a la contaminación, donde las piezas o los sustratos se desplazan entre módulos sin exposición al aire ambiente. La capacidad de interrupción por hardware permite que el sistema de control reaccione rápidamente al estado del sistema de vacío, al estado de las puertas de la precámara de carga, a los eventos de alineación impulsados por sensores y a las señales de disponibilidad de los módulos, lo que ayuda a coordinar un movimiento determinista dentro de una región de transferencia en vacío. Se asocia más estrechamente con la fabricación de semiconductores y pantallas, donde las obleas y los paneles se manipulan dentro de equipos de agrupación en vacío para minimizar la oxidación y la contaminación. La PHOENIX-S25 se suministra bajo presupuesto, confirmándose la configuración y la integración en el proceso antes de realizar el pedido.