Il robot per vuoto SIASUN SM15 trasferisce substrati (come i wafer) o componenti delicati tra camere di carico, camere a vuoto e stazioni interne negli strumenti di processo integrati.

Garantisce una produttività ripetibile, una movimentazione precisa e un intervento umano ridotto nella produzione di semiconduttori.

L'SM15 è destinato ad applicazioni nel settore dei semiconduttori, dell'ispezione e della movimentazione industriale sotto vuoto.

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