- Manipolatore a vuoto
- Strumenti per i cluster
- Deposizione/incisione
- Camere di carico
- Stazioni di metrologia
- Condizioni di vuoto
Descrizione
Il SIASUN PHOENIX PLUS Series Vacuum Manipulator opera all'interno di apparecchiature di processo sotto vuoto quali i cluster tool per deposizione, attacco o processi sotto vuoto correlati.
Trasferisce wafer o substrati tra camere di carico, moduli di processo e stazioni di metrologia mantenendo condizioni di vuoto controllate.
La Phoenix Plus Series è destinata ad applicazioni di movimentazione sotto vuoto nei settori semiconduttori e industriale.
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Caratteristiche
Specifiche
| Modello | Manipolatore a vuoto serie PHOENIX PLUS |
|---|---|
| Tipo di robot | Manipolatore a vuoto |
| Destinazione d'uso | Integrazione degli strumenti di clustering |
| Marca | SIASUN |
Settori industriali
Domande frequenti
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Il manipolatore a vuoto SIASUN PHOENIX PLUS opera in sistemi di strumenti integrati per la deposizione e l'incisione. Trasferimento controllato sotto vuoto tra le camere di carico e i moduli di processo.
Manipolatore a vuoto SIASUN serie Phoenix Plus è particolarmente adatto ad applicazioni nei settori Industriale.
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Manipolatore a vuoto SIASUN serie Phoenix Plus
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Disponibile
Braccio robotico
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