- Transfert de plaquettes sous vide
- Sas de chargement
- Modules de procédé
- Répétabilité
- Débit
- Contrôle de la contamination
Description
Le SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series transfère les wafers entre sas de chargement, chambres de transfert et modules de procédé (dépôt, gravure, métrologie) sans rompre les environnements contrôlés.
Il améliore la répétabilité, le débit et le contrôle de la contamination dans la fabrication de semi-conducteurs et en salle blanche.
La Phoenix B Series est destinée aux applications de manipulation sous vide dans les semi-conducteurs, l'éducation et l'industrie.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | Vacuum Robot PHOENIX B Series |
|---|---|
| Type de robot | Transfert sous vide |
| Usage prévu | Manutention de semi-conducteurs |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
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La SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series transfère les wafers à travers les sas de chargement et les modules de procédé. Automatisation à contamination contrôlée pour la fabrication de semi-conducteurs.
SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series
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