- Vacuum manipulator
- Clean robot component
- Minimal particles
- High repeatability
- Cleanroom compatible
- High-cleanliness
Description
Le SIASUN PHOENIX PLUS B Series Vacuum Manipulator fait partie des composants "robots propres" de SIASUN, aux côtés des systèmes EFEM et des plateformes de transfert sous vide. Il est associé à la fabrication de semi-conducteurs et à la fabrication de haute propreté.
Il déplace les substrats avec une génération minimale de particules et une haute répétabilité dans les environnements de salle blanche.
La Phoenix Plus B Series est destinée aux applications de manipulation sous vide dans les semi-conducteurs et l'industrie.
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Fonctionnalités
Spécifications
Secteurs
SIASUN Vacuum Manipulator Phoenix Plus B Series
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Robotic Arm
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