- Vakuumkammern
- Load-Lock-Systeme
- Cluster-Tools
- Wafer/Panels/Träger
- Vakuumorientiert
- Luftisolierung
Beschreibung
Der SIASUN PHOENIX-S25 Vakuum-Manipulator wird in Vakuumkammern, Load-Lock-Systeme und Cluster-Tools integriert. Bewegt Teile oder Substrate (Wafer, Panels, Carrier, Präzisionskomponenten) zwischen Prozessmodulen.
Positioniert als vakuumorientierte Manipulator-Plattform, ohne Materialien der Umgebungsluft auszusetzen.
Der Phoenix-S25 wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | Vacuum Manipulator PHOENIX-S25 Series |
|---|---|
| Robotertyp | Vakuummanipulator |
| Verwendungszweck | Halbleiterhandhabung |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
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Der SIASUN PHOENIX-S25 Vacuum Manipulator handhabt Substrate in Vakuumkammern und Clustertools. Luftisolierter Transfer für Wafer, Panels und Präzisionskomponenten.
SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix
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