- Umgebungsdruck
- Front-End-Module
- Ladeports/Aligner
- Inspektionsstationen
- Kompakte Präzision
- EFEM-Integration
Beschreibung
Der SIASUN Blade-D156 Atmosphären-Manipulator bewegt Wafer (oder waferähnliche Substrate) zwischen Frontend-Modulen, Load-Ports, Alignern, Inspektionsstationen und Prozessanlagen-Schnittstellen bei Umgebungsdruck.
Positioniert als kompakte Präzisions-Transferplattform, häufig Teil eines EFEM oder einer integrierten Materialhandling-Zelle.
Der Blade-D156 wird für atmosphärisches Handling in den Bereichen Halbleiter, Inspektion und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | Blade-D156 |
|---|---|
| Robotertyp | Atmosphärischer Manipulator |
| Verwendungszweck | EFEM, Front-End-Handhabung |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
Kontaktieren Sie uns für aktuelle Preise, Verfügbarkeit und ein individuelles Angebot zu SIASUN Atmosphären-Manipulator Blade D156.
Der SIASUN Blade-D156 ist ein kompakter atmosphärischer Manipulator für die EFEM- und Frontend-Modul-Integration. Präziser Wafertransfer an Load-Ports, Alignern und Inspektionsstationen.
SIASUN Atmosphären-Manipulator Blade D156 eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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SIASUN Atmosphären-Manipulator Blade D156
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